アズワン マスフローコントローラー He 10SLM 3-6946-04
●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。
アズワン マスフローコントローラー He 10SLM 3-6946-04の特徴
●型番：C1020-4S2-10L-He
●流量（SLM）：10
●ガス：He
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●再現性：±0.2％FS
●流量制御範囲：5～100％FS
●流体：気体
●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下
●応答性：6sec
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理：機械加工仕上げ
●継手：1/4in.SWL相当
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/O ノーマルオープン
●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、－15VDC±5% 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：160×33.6×105mm
アズワン マスフローコントローラー He 10SLM 3-6946-04の仕様
| サイズ | 10SLM |
