ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ排気速度100/110　 375 x 300 x 270 mm DAT-100S●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz:100/110●到達圧力(Pa):13.3×10［［の3乗］］●吸気口径(mm):12●電源(V):単相100●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):150×232×305●寸法(mm):150×232×305●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●高速高圧用●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。 ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ排気速度100/110　 375 x 300 x 270 mm DAT-100Sの特徴●排気速度(L/min)50/60Hz：100/110●到達圧力(Pa)：13.3×10［［の３乗］］●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅×全長×全高(mm)：150×232×305●騒音値(dB)：-●寸法(mm)：150×232×305●一台から異電圧に別作対応（DAL-181D/DAL-361Sは除く）●高速高圧用 ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ排気速度100/110　 375 x 300 x 270 mm DAT-100Sの仕様サイズ375 x 300 x 270 mm重量12.5 kg原産国日本ダイアフラム型ドライ真空ポンプ;DAT100S __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　排気速度50/55　 375 x 300 x 270 mm DAT-50D●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。●シンプル構造でメンテナンスも容易です。●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。●排気速度(L/min)50/60Hz:50/55●到達圧力(Pa):3.3×10［［の3乗］］●吸気口径(mm):12●電源(V):単相100●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):150×232×305●寸法(mm):150×232×305●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)●到達圧力(KPa):3.3●吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●最大寸法(mm):150(W)×232(L)×305(H)●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。 ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　排気速度50/55　 375 x 300 x 270 mm DAT-50Dの特徴●排気速度(L/min)50/60Hz：50/55●到達圧力(Pa)：3.3×10［［の３乗］］●吸気口径(mm)：12●電源(V)：単相100●全幅×全長×全高(mm)：150×232×305●騒音値(dB)：-●寸法(mm)：150×232×305●一台から異電圧に別作対応（DAL-181D/DAL-361Sは除く）●到達圧力(KPa)：3.3●吸排気管径(mm)：O.D.φ12×I.D.φ8(Rc1/4)●最大寸法(mm)：150(W)×232(L)×305(H) ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　排気速度50/55　 375 x 300 x 270 mm DAT-50Dの仕様サイズ375 x 300 x 270 mm重量12....

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アルバック機工 DAP-6D単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度6/7 DAP-6D 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：6/7到達圧力(Pa)：6.65×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：Rc1/8電源(V)：単相200全幅(mm)：91全長(mm)：163全高(mm)：100.6ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DAP6D200V...

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■特長 ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。 ■用途 吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。 分析機器、理化学機器。 半導体検査装置。 デバイス組立。 自動機、包装機。 ■仕様 排気速度(L/min)50/60Hz：20/24 到達圧力(Pa)：5.33×10［［の３乗］］ 吸気口径(...

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■特長 ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。 ■用途 吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。 分析機器、理化学機器。 半導体検査装置。 デバイス組立。 自動機、包装機。 ■仕様 排気速度(L/min)50/60Hz：60/72 到達圧力(Pa)：3.32×10［［の３乗］］ 吸気口径(...

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■特徴油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙を捕集し、自動的に真空ポンプ内へ回収します。フィルター交換可能です。（ねじ込んで本体に取り付けます）特に小型真空ポンプは圧力の高いところで使用する場合が多いため、油の飛散により雰囲気を汚すことがありますが、このトラップを取付けることにより低減されます。■用途油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙の捕集。...

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ULVAC 単相100V油回転真空ポンプ 260 x 195 x 220 mm G-5●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。●大気圧近くでの連続運転に ULVAC 単相100V油回転真空ポンプ 260 x 195 x 220 mm G-5の特徴●排気速度(L/min)50/60Hz:5/6●到達圧力(Pa):4×10「「の3乗」」●吸気口径(mm):12●電源(V):単相100●寸法(mm):80×199×156●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):80×199×156●サーマルプロテクタ付●使用油:SMR－100●異電圧対応可能(G－5は除く)●排気速度50/60Hz(L/min):5/6●吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6●最大寸法(mm):80(W)×199(L)×156(H) ULVAC 単相100V油回転真空ポンプ 260 x 195 x 220 mm G-5の仕様重量2.500KG原産国日本G5 __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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4. 真空ポンプ･真空ユニット

ULVAC 単相100V油回転真空ポンプ 265 x 185 x 295 mm G-5DA●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。●2段式は2回の吸入圧縮排気により1段式より良い真空が得られます。●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。●半導体製造装置。●真空蒸着装置、凍結乾燥器。●医療用機器全般。●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。●停止時には真空側に油の逆流が発生します ULVAC 単相100V油回転真空ポンプ 265 x 185 x 295 mm G-5DAの特徴●排気速度(L/min)50/60Hz:5/6●到達圧力(Pa):6.7●吸気口径(mm):12●電源(V):単相100●寸法(mm):130×203×159.5●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):130×203×159.5●サーマルプロテクタ付●使用油:SMR－100●異電圧対応可能(要相談)●排気速度50/60Hz(L/min):5/6●吸気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ6●最大寸法(mm):130(W)×203(L)×159.5(H) ULVAC 単相100V油回転真空ポンプ 265 x 185 x 295 mm G-5DAの仕様重量5.000KG原産国日本G5DA __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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■特徴マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。簡単な結線変更で多くの電圧に対応できます。ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品です。■用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器真空排気装置、電子顕微鏡のバック半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置真空乾燥器、凍結乾燥器■仕様異電圧対応可(お問い合せください)■注意点真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。逆流防止弁機構は、停電時等の緊急時に真空槽側にポンプ油逆流するのを防ぐものです。長時間停止する場合には真空側を大気圧に戻してください。排気口からの油煙（オイルミスト）が大気圧付近では特に発生します。10kPa以上の高い吸入圧力での連続運転には適しません。排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲー...

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ULVAC 単相100Vダイアフラム型ドライ真空ポンプ 470 x 285 x 385 mm DTC-120●接ガス部にPTFEなどの耐食性に優れた部品を使用した、ケミカルタイプのダイアフラム型真空ポンプです。●ロータリーエバポレーター。●真空濃縮、真空ろ過、遠心分離。●真空乾燥。●医療機器、製薬用機器。●特殊ガス置換。●分析機器、理化学機器。●本機は有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応することを目的に開発された真空ポンプです。自動生産ラインなどでの24時間連続運転や中間圧力での連続運転で使用した場合、短期間でダイアフラムが破損することがあります。 ULVAC 単相100Vダイアフラム型ドライ真空ポンプ 470 x 285 x 385 mm DTC-120の特徴●排気速度(L/min):120/140●電源(V):単相100●幅(mm):203●奥行(mm):411.0●高さ(mm):300●吸気口径(mm):16●騒音値(dB):-●到達圧力(Pa):1.0×10「「の3乗」」●排気速度(L/min)50/60Hz:120/140●吸排気管径(mm):O.D.φ16×I.D.φ10(G1/2)●サーマルプロテクタ付●ケミカルタイプ●到達圧力(KPa):1.0●吸排気管径(mm):O.D.φ16×I.D.φ10(G1/2)●最大寸法(mm):203(W)×41 ULVAC 単相100Vダイアフラム型ドライ真空ポンプ 470 x 285 x 385 mm DTC-120の仕様重量27.500KG原産国日本DTC120 __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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■特徴ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。■セット内容ダイアフラム×2、バルブA×3、バルブ押えA×2、バルブC×1、排気フィルタ×1、Oリング(P-48)×4、Oリング(P-18)×2、Oリング(N-15)×2、吸気フィルタ×1、バルブ押えB×2...

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■特徴油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。■セット内容排気弁×2、排気弁スプリング×2、逆止弁×2、逆止弁スプリング×2、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールSC-12-25-7×1、オイルシールVC-12-22-4×1、オイルシールVC-10-20-4×1OリングS-3×2、OリングS-5×1、OリングS-12×2、OリングS-20×1、OリングS-29×1、OリングS-46×1、OリングS-55×1、OリングP-10×1、OリングP-12×1、OリングP-20×1、OリングP-24×1、OリングP-34×1、OリングG-55×1...

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■特徴油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。■セット内容排気弁×2、排気弁スプリング×2、逆止弁×2、逆止弁スプリング×2、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールSC-12-25-7×1、オイルシールVC-12-22-4×1、オイルシールVC-10-20-4×1OリングS-3×2、OリングS-5×1、OリングS-12×2、OリングS-20×1、OリングS-29×1、OリングS-46×1、OリングS-55×1、OリングP-10×1、OリングP-12×1、OリングP-20×1、OリングP-24×1、OリングG-55×1、OリングV-150×...

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ULVAC ULVAC　三相200V　油回転真空ポンプ 655 x 310 x 400 mm GCD-201X●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。●化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。●濃縮機などの化学機器。●半導体製造装置。●製薬機械。●薬品処理後の乾燥。●真空乾燥機、連結乾燥機●排気速度(L/min)50/60Hz:200/240●到達圧力(Pa):0.67●吸気口径:KF-25●電源(V):三相200●騒音値(dB):-●サーマルプロテクタ付:○●使用油:SO−M●全幅×全長×全高(mm):170.0×509.5×241.1●寸法(mm):170.0×509.5×241.1●2段排気方式●一台から異電圧に別作対応●ケミカルタイプ●真空ポンプ油は合成油(SO-M)をご使用ください。●特殊ガス、溶液などを吸引されるときは事前にご相談ください。●大気圧近くでの連続運転には不適当です。●腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。 ULVAC ULVAC　三相200V　油回転真空ポンプ 655 x 310 x 400 mm GCD-201Xの特徴●排気速度(L/min)50/60Hz：200/240●到達圧力(Pa)：0.67●吸気口径：KF-25●電源(V)：三相200●全幅×全長×全高(mm)：170.0×509.5×241.1●騒音値(dB)：-●サーマルプロテクタ付：○●使用油：SO－M●寸法(mm)：170.0×509.5×241.1●2段排気方式●一台から異電圧に別作対応●ケミカルタイプ ULVAC ULVAC　三相200V　油回転真空ポンプ 655 x 310 x 400 mm GCD-201Xの仕様サイズ655 x 310 x 400 mm重量30.1 kg原産国日本直結型油回転真空ポンプ（ケミカルタイプ）;GCD201X __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。 ●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。 ●排気速度(L/min)50/60Hz:30/36●到達圧力(Pa):33.3×10［［の3乗］］●吸気口径(mm):9●電源(V):単相100●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):142×215.0×180●寸法(mm):142×215.0×180 ●減圧・加圧両用●加圧圧力:150kPa●1段排気方式●一台から異電圧に別作対応●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa):0.15 ●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用下さい。 ...

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■特徴油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。■セット内容ベーン×2、ベーンスプリング×2、排気弁×2、排気弁スプリング×2、オイルレベルゲージ×1、スパイダー×1、ベアリング6900×1、オイルシールHTC-11-25-7×1、オイルシールVC-10-20-4×1、オイルシーOリングS-4×1、OリングS-15×1、OリングS-18×1、OリングS-29×1、OリングS-120.9×1、OリングP-8×1、OリングP-18×1...

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■特徴ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。■セット内容ダイアフラム×2、吸気弁スペーサー×2、吸排気弁A×2、吸排気弁B×2、排気弁押え×2、Oリング(S-24)×4、Oリング(P-10A)×2、Oリング(AS568-110)×4...

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■特徴ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。■セット内容ダイアフラム×1、ヘッドガスケット×1、吸排気弁×2、エアーフィルタ×2、Oリング(P-10)×2...

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■特徴ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。■セット内容ダイアフラム×4、バルブ×12、ヘッドガスケット×4、Oリング(P-18)×1、Oリング(P-10)×7、弁板×1...

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■特徴ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。■用途広域型ターボ分子ポンプのバックポンプクライオポンプ排気系のバックポンプメカニカルブースターポンプのバックポンプロードロック室排気吸着搬送、ハンドリングレーザーガス循環･排気用真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置■仕様異電圧対応可(お問い合せください)■注意点腐食性ガス･有機溶剤･液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。屋内専用のポンプです。雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。...

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特徴 ･小さいサイズながらも、大きな排気速度です。 ･装置組込みに適したコンパクトサイズです。 ･マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。 ･吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。 ･電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。 ･強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。 ･大気圧からの作動が可能です。 用途 ･理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。 ･真空排気装置、電子顕微鏡のバック。 ･半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。 ･真空乾燥器、凍結乾燥器。 ･リークディテクタ。 仕様 ･排気速度(L/min)50/60Hz:30/36･到達圧力(Pa):0.67･吸気口径:KF-16･電源(V):単相100-120･サーマルプロテクタ付:○･全高(mm):163･全長(mm):288.5･使用油:R-2･全幅(mm):120 ･2段排気方式･CEマーキング自己宣言品･TUV、cTUVus認証取得品･一台から異電圧に別作対応 注意 ･真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。 定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。 ･排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。 ･排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。 ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。 ･このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。...

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...

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■特徴真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。...

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4. その他真空システム機器用品

■特徴フィルタエレメントのみ交換可能です。低負荷用：連続吸入圧：10kPa以下、高負荷用：連続吸入圧：100kPa以下でご使用ください。オイルミストトラップは油回転真空ポンプの油煙を取り除きます。■用途油回転真空ポンプの油煙の取り除きに。■材質本体：スチール●フィルタ：グラスウール■注意点本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。...

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■特徴真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。...

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4. 真空ポンプ･真空ユニット

■特徴真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。...

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2. 空圧機器･油圧機器
3. 真空システム機器
4. 真空ポンプ･真空ユニット

■特徴油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。■用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。■セット内容排気弁×2、排気弁スプリング×2、大気開放弁×1、大気開放弁スプリング×1、逆止弁×1、楕円リング×1、大気開放ルートOリング×1、Oリング(S-12)×1、Oリング(S-56)×1、Oリング(S-60)×1、Oリング(ケ...

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2. 空圧機器･油圧機器
3. 真空システム機器
4. 真空ポンプ･真空ユニット

■材質ステンレス（SUS304）...

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2. 空圧機器･油圧機器
3. 真空システム機器
4. その他真空システム機器用品

■特徴吸引したガスを室外に排出できます。配管しない場合はキャップを取り付けて通常のオイルミストトラップとしてご使用いただけます。■用途オイルミストの除去■仕様インライントラップは、配管接続型のオイルミストトラップのこと。適合機種200L/min以下■注意点エレメント（フィルター）のみの交換も可能です。...

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3. 調質機器･調圧機器
4. エアーフィルタ･オイルミストフィルタ

■特徴GLD-040、GLD-051、GLS-051にUFO/UFW-003を接続する際に使用します。■仕様φ10...

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3. 真空システム機器
4. 真空ポンプ用部品･オプション

■特徴特殊カーボンの翼板がシリンダー内を摺動回転することにより排気する真空ポンプです。比較的小型で大きい排気速度を得ることができます。■用途チップマウンター印刷機械各種包装機械電子部品実装装置製本機械各種産業機械などの吸着源■仕様異電圧対応可(お問い合せください)■注意点負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。腐食性ガス･有機溶剤･液体及び凝縮性ガス（水蒸気等）は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。電動機保護機能が内蔵されていません・...

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3. 真空システム機器
4. 真空ポンプ･真空ユニット

■特徴目盛は絶対圧力をしめすMPa単位目盛で表示されています。■用途取付方向に合わせて、ADTとAT型の2機種からお選びください。■仕様圧力表示範囲：0～0.1MPa(絶対圧表示)...

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3. 真空システム機器
4. その他真空システム機器用品

ULVAC ULVAC 単相100V オイルフィルトレーションシステム 350 x 340 x 500 mm UFW-003 1個●各種真空装置に用いられる油回転真空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置です。●多量の水分を真空ポンプで吸引する場合に、効率よく連続的に油中の水分を分離する油水分離装置です。●真空乾燥・真空凍結乾燥装置●真空蒸着装置●真空スパッター装置●各種CVD装置●化学、薬品、医療、食品装置●真空熱処理装置●真空溶解炉●イオン注入装置●外形寸法(mm):235(W)×245(L)×418(H)●電源:単相100V●外形寸法(mm):235(W)×245(L)×418(H)●電源:単相100V●ろ過流量50/60Hz(L/min):1.2/1.4●水分除去量(cc):連続・分離・排水●酸中和量:0.1mol/エレメント●所要油量(L):約1●適用真空ポンプ容量(L/min):水分量による●真空ポンプの型式によって接続できない機種があります。●機種によって別売りのアダプターが必要になります。●油は、別途ご購入下さい。●「GLD-280」へ接続する際には、オイルフィルトレーションの吸入側にオイルクーラーを設置し、油温を下げる必要があります。 ULVAC ULVAC 単相100V オイルフィルトレーションシステム 350 x 340 x 500 mm UFW-003 1個の仕様サイズ350 x 340 x 500 mm原産国日本UFW003 __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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■材質ステンレス（SUS304）...

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■材質ステンレス（SUS304）...

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■材質ステンレス（SUS304）...

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■特徴ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。■用途広域型ターボ分子ポンプのバックポンプクライオポンプ排気系のバックポンプメカニカルブースターポンプのバックポンプロードロック室排気吸着搬送、ハンドリングレーザーガス循環・排気用真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置■仕様到達圧力(KPa)：0.1最大寸法(mm)：239(W)×325(L)×198(H)■注意点負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。腐食性ガス、有機溶剤、液体及び凝縮性ガス（水蒸気等）は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。大気圧付近での長時間運転はしないでください。出荷時の電圧は２３０Ｖに設定しています。１００Ｖ系にてご使用の場合は、電圧切替えスイッチを１００Ｖ系に切替えください。電圧切替えは必ずポンプを主電源から外した状態で実施く２００Ｖ系でご使用の際には、お客様にて付属の１００Ｖ用電源コードの先端を切断し、使用状況に適した先端処理を実施ください。先端プラグの最大使用電圧は１２５Ｖのため、２００Ｖ...

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■材質ステンレス（SUS304）...

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ULVAC クイックカップリングクランプ 143 x 85 x 31 mm ZSCK1040 ULVAC クイックカップリングクランプ 143 x 85 x 31 mm ZSCK1040の特徴●フランジサイズ:KF-40●B(mm):90●C(mm):16●D(mm):47●A(mm):70●E(mm): ULVAC クイックカップリングクランプ 143 x 85 x 31 mm ZSCK1040の仕様重量120.000G材質●アルミニウム原産国韓国ZSCK1040 __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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■特徴油回転真空ポンプの吸気側取付用部品です。...

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ULVAC 単相100V揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-80S●カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダ内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。●接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●加圧専用タイプもあります。●真空チャック、真空ピンセット。●食品包装機、真空成型機。●吸着搬送。●自動機等の真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。 ULVAC 単相100V揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-80Sの特徴●排気速度(L/min)50/60Hz:80/88●到達圧力(Pa):5.33×10「「の3乗」」●吸気口径(mm):9●電源(V):単相100●寸法(mm):160×270×179●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):160×270×179●サーマルプロテクタ付●1段式排気方式●異電圧対応可能(要相談)●異電圧対応可(お問い合せください) ULVAC 単相100V揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-80Sの仕様重量7.000KG原産国日本DOP80S __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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■特徴DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。■用途分析機器、CVD装置に。真空乾燥器、凍結真空乾燥器。Heリークテスト、CO2ガスレーザー。真空脱泡、真空熱処理。液晶注入。■仕様排気速度(m［［の３乗］］/h)：50吸入口(JIS)：VG-40吐出口(JIS)：VF-40最大寸法(mm)：167(W)×410(L)×130(H)■注意点メカニカルブースタポンプは、単体で使用できません。必ず補助ポンプと組み合わせてください。メカニカルブースタポンプは、インラインで使用する設計となっています。吐出側のフランジを固定し、このフランジにポンプを取付けてください。初期運転および長期間運転していない場合、起動時に潤滑油が泡立ちますので、補助ポンプで脱気のための排気を行ってください。大気圧近辺での運転は、補助ポンプの排気速度と同じ程度になるため、ブースターの特長が発揮されません。潤滑油が規定量を超えると、ロータ室内部に油が入ります。...

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■材質ステンレス（SUS304）...

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●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。●高真空タイプのダイアフラム型真空ポンプの接ガス部にPTFEなどの耐食性の強い部品を使用したケミカルタイプのものです。 ●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●真空濃縮、真空ろ過、遠心分離、ロータリーエバポレーターなど。●医療機器、製薬用機器、分析機器、理化学機器など。●特殊ガス置換。●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置。 ●到達圧力(Pa):200●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23●吸気口径(mm):10●電源(V):単相100●消費電力(W):80●幅(mm):161●奥行(mm):327●高さ(mm):217●排気速度(L/min):20/23●騒音値(dB):- ●サーマルプロテクタ付●ケミカルタイプ●高真空タイプ●到達圧力(KPa):0.2●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm):161(W)×327(L)×217(H)●電源コード長さ:1.8m●一台から異電圧に別作対応(要相談) ●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。 ...

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ULVAC ULVAC　単相100V　揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-40D●カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダ内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。●接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●加圧専用タイプもあります。●真空チャック、真空ピンセット。●食品包装機、真空成型機。●吸着搬送。●自動機等の真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz:40/44●到達圧力(Pa):1.2×10［［の3乗］］●吸気口径(mm):9●電源(V):単相100●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):160×270×179●寸法(mm):160×270×179●2段式排気方式●一台から異電圧に別作対応●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。 ULVAC ULVAC　単相100V　揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-40Dの特徴●排気速度(L/min)50/60Hz：40/44●到達圧力(Pa)：1.2×10［［の３乗］］●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅×全長×全高(mm)：160×270×179●騒音値(dB)：-●寸法(mm)：160×270×179●2段式排気方式●一台から異電圧に別作対応 ULVAC ULVAC　単相100V　揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-40Dの仕様サイズ300 x 220 x 240 mm重量8.4 kg原産国日本揺動ピストン型ドライ真空ポンプ;DOP40D __snahost = "r3.snva.jp"; recoConstructer( } }); ...

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■特徴油回転真空ポンプの排気側取付用部品です。■仕様KF-25...

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アルバック機工 DA-120S単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度120/144 DA-120S 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：120/144到達圧力(Pa)：13.3×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：14電源(V)：単相200全幅(mm)：162全長(mm)：358全高(mm)：238.0ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DA120S200V...

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アルバック機工 KF-25排気管 KF-25×G1 EXHAUST PIPE KF-25 X G1 1点■特徴油回転真空ポンプの排気側取付用部品です。■仕様KF-25特徴EXHAUSTPIPEKF25XG1...

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