アズワン
マスフローコントローラー Air 10SLM 3-6946-01
アズワン マスフローコントローラー Air 10SLM 3-6946-01●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。●スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。 アズワン マスフローコントローラー Air 10SLM 3-6946-01の特徴●型番：C1020-4S2-10L-Air●流量（SLM）：10●ガス：Air●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）●再現性：±0.2％FS●流量制御範囲：5～100％FS●流体：気体●使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下●応答性：6sec●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa（G）●外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下●接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム●表面処理：機械加工仕上げ●継手：1/4in.SWL相当●入出力：アナログ信号（0～5VDC）●バルブ形式：N/O ノーマルオープン●駆動電源：+15VDC±5% 60mA、－15VDC±5% 150mA●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）●サイズ：160×33.6×105mm アズワン マスフローコントローラー Air 10SLM 3-6946-01の仕様サイズ10SLM3694601
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