■特徴
耐衝撃性に富んだ設計構造の測定子です。
気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
大気圧から低真空領域(0.05~100000Pa)の測定が可能です。
フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。
センサーユニットと測定子の一体化により省配線、省スペース、省電力が可能です。
JCSS校正も可能です。


■用途
太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空測定に。
真空炉をはじめとする各種産業機器の低真空測定に。
大気圧からの広帯域の真空測定に。


■仕様
表示:無し
外形寸法:46×28×105mm(センサーユニット+測定子)


■付属品
測定子(SWP16)


■材質
測定子フィラメント・白金(Pt)


■注意点
本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。