■特徴
減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。
吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。
加圧圧力は150kPaです。


■用途
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。


■仕様
減圧・加圧両用
加圧圧力：150kPa
1段排気方式
加圧圧力(ゲージ圧)(MPa)：0.15


■注意点
ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用