■特長
ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。
モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。
■用途
理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
半導体製造装置。
真空蒸着装置、凍結乾燥器。
医療用機器全般。
■仕様･規格
一台から異電圧に別作対応
排気速度(L/min)50/60Hz:20/24
到達圧力(Pa):9.3
吸気口径(mm):18
電源(V):単相100
全幅(mm):156
全長(mm):284
全高(mm):199.5
サーマルプロテクタ付:付
使用油:SMR-100
電源コード長さ(m):2.0
■質量･質量単位
8.5kg
■使用条件
使用雰囲気温度範囲:7℃～40℃
■注意事項
油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
停止時には真空側に油の逆流が発生します。
必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
大気圧近くでの連続運転には不適当です。
