ＵＬＶＡＣ　単相１００Ｖ　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ排気速度１００／１１０　 375 x 300 x 270 mm

ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ排気速度100/110　 375 x 300 x 270 mm DAT-100S

●ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。
●排気速度(L/min)50/60Hz:100/110
●到達圧力(Pa):13.3×10［［の3乗］］
●吸気口径(mm):12
●電源(V):単相100
●騒音値(dB):-
●全幅×全長×全高(mm):150×232×305
●寸法(mm):150×232×305
●一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)
●高速高圧用
●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ排気速度100/110　 375 x 300 x 270 mm DAT-100Sの特徴

●排気速度(L/min)50/60Hz：100/110
●到達圧力(Pa)：13.3×10［［の３乗］］
●吸気口径(mm)：12
●電源(V)：単相100
●全幅×全長×全高(mm)：150×232×305
●騒音値(dB)：-
●寸法(mm)：150×232×305

●一台から異電圧に別作対応（DAL-181D/DAL-361Sは除く）
●高速高圧用

ULVAC ULVAC　単相100V　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ排気速度100/110　 375 x 300 x 270 mm DAT-100Sの仕様