特徴
･小さいサイズながらも、大きな排気速度です。
･装置組込みに適したコンパクトサイズです。
･マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。
･吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。
･電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。
･強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。
･大気圧からの作動が可能です。
用途
･理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
･真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
･半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
･真空乾燥器、凍結乾燥器。
･リークディテクタ。
仕様
･排気速度(L/min)50/60Hz:30/36･到達圧力(Pa):0.67･吸気口径:KF-16･電源(V):単相100-120･サーマルプロテクタ付:○･全高(mm):163･全長(mm):288.5･使用油:R-2･全幅(mm):120
･2段排気方式･CEマーキング自己宣言品･TUV、cTUVus認証取得品･一台から異電圧に別作対応
注意
･真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。
定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
･排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。
･排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。
ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
･このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。
