■特徴
ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
■用途
広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ
クライオポンプ排気系のバックポンプ
メカニカルブースターポンプのバックポンプ
ロードロック室排気
吸着搬送、ハンドリング
レーザーガス循環・排気用
真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
■仕様
到達圧力(KPa)：0.1
最大寸法(mm)：239(W)×325(L)×198(H)
■注意点
負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。
腐食性ガス、有機溶剤、液体及び凝縮性ガス（水蒸気等）は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。
大気圧付近での長時間運転はしないでください。
出荷時の電圧は２３０Ｖに設定しています。１００Ｖ系にてご使用の場合は、電圧切替えスイッチを１００Ｖ系に切替えください。電圧切替えは必ずポンプを主電源から外した状態で実施く
２００Ｖ系でご使用の際には、お客様にて付属の１００Ｖ用電源コードの先端を切断し、使用状況に適した先端処理を実施ください。先端プラグの最大使用電圧は１２５Ｖのため、２００Ｖ
