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●プラズマ中のラジカルやイオンで変色する色材を用いた評価ツールです。

プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色するので、プラズマ処理効果を「色で見える化」できます。

●O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。

●感度:高感度

●形状:シート

●入数:5枚

●対応ガス:O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用(O2 N2 Air CF4 H2 NH3 (Ar))

●耐熱性:100℃

●材質:本体/PETフィルム 検知部/有機色材 レジン

●大きさ:本体:210×297×0.2mm 検知部:190×290mm

※代表画像です。