特徴

特徴:

●300mmウェハー出荷容器です。

●SEMI規格準拠のロードポートに対応しています。

●手動での開閉でも冶具は不要です。 仕様:

●ウェハー径(mm):Φ300

●収納枚数:25枚

●材質:本体/ポリカーボネート、溝板/PBT(ポリブチレンテレフタレート)

●外寸法:(幅)389.5×(長さ)341.8×(高さ)330.5mm

●溝ピッチ:10mm

●フィルター(1枚)付き

●SEMI規格準拠

仕様

入数 1個
KT3004A4