アズワン
マスフローコントローラー 100SCCM-H2 3-5067-05 1個
アズワン マスフローコントローラー 100SCCM-H2 3-5067-05●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。●スタート時のフローサージ現象を抑制します。 アズワン マスフローコントローラー 100SCCM-H2 3-5067-05の特徴●型番：C1005●フルスケール流量-ガス種：100SCCM-H2●ガス種類：H2●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）●応答性：6sec●流量制御範囲：5～100％FS●入出力：アナログ信号（0～5VDC）●バルブ形式：N/Oノーマルオープン●再現性：±0.2％FS●動作圧力範囲：50～300kPa●耐圧：1MPa（G）●外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム●接続：1/4in.SWL相当●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）●サイズ：127×25.5×100mm3506705
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