ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-100 1個

■特徴ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。 ■用途広域型ターボ分子ポンプのバックポンプクライオポンプ排気系のバックポンプメカニカルブースターポンプのバックポンプロードロック室排気吸着搬送、ハンドリングレーザーガス循環・排気用真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置 ■仕様異電圧対応可(お問い合せください) ■注意点腐食性ガス･有機溶剤･液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。屋内専用のポンプです。雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。

吸気口径(mm): KF-16

電源(V): 単相100

到達圧力(Pa): 266

排気速度(L/min)50/60Hz: 100/110

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