日酸TANAKA
SL-1XX-5X6G-1414 QAN80445 1点
■用途 分析、供給における高純度ガス供給用（本体SUS製、一次側低圧用）。 ■材質 本体： ステンレス(SUS316L) ■注意点 半導体用ガスにはご使用になれません。
1次側使用圧力(MPa): 1（圧力計なし）
2次側使用圧力(MPa): 0.6
型式: SL-1XX-5X6G-1414
出入口接続: 1/4”スウェージロック
標準流量(L/min): 260L/min(nor)（P1=1MPa,P2=0.6MPa,使用ガス：N2ガス）
流体: 標準ガス、ゼロガス、高純度ガス
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