■特徴
有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプです。


■用途
広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ
クライオポンプ排気系のバックポンプ
メカニカルブースターポンプのバックポンプ
ロードロック室排気
吸着搬送、ハンドリング
レーザーガス循環・排気用
真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置


■仕様
到達圧力(KPa)：0.15
吸排気管径(mm)：O.D.φ11×I.D.φ6.5
最大寸法(mm)：243(W)×325(L)×198(H)


■注意点
負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。
耐食性仕様となっていますが、例外的に溶融アルカリ金属や高温下でのフッ素及びある種のフッ素化合物に対して耐食性を発揮できないことがあります。
大気圧付近での長時間運転はしないでください。
出荷時の電圧は２３０Ｖに設定しています。１００Ｖ系にてご使用の場合は、電圧切替えスイッチを１００Ｖ系に切替えください。電圧切替えは必ずポンプを主電源から外した状態で実施く
200V系でご使用の際には、お客様にて付属の100V用電源コードの先端を切断し、使用状況に適した先端処理を実施ください。先端プラグの最大使用電圧は125Vのため、200V系では使用できません