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アルバック機工の電動･空圧工具 アクセサリー (電動工具･空圧工具)
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アルバック機工 成膜用RF電源 RMG-1303 RF電源システム2,180,000円 (税込)■特徴低出力電力で1Wから制御が可能です。500Hz～100kHzのパルスRF出力機能を標準搭載しています。13.56MHzの外部同期端子を標準搭載しています。AC100V～AC220Vの幅広い入力に対応しています。電源･マッチングボックスが一体であり小型･軽量化となります。■用途スパッタリング装置用。CVD装置用。プラズマクリーニング装置用。プラズマエッチング装置用。プラズマアッシング装置用。RFイオン源に。RFニュートラライザーに。■仕様タイプ:成膜用RF電源入力電圧:AC100V/220V（単相）入力周波数(Hz):50/60Hz出力側周波数(kHz):13.56MHz定格電圧(Vpp/Vdc):VPP/VDC:2500Vpp/2500Vdc制御方式:アナログ/デジタル、RS-232C規格:RoHS、CE、KC、SEMI-F47に対応■セット内容表示パネル:RFP-N入力ケーブル:AC01-R-JP_5m電源-表示パネル間ケーブル:CONT-N_4m...
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